1、樣品要盡可能干燥，含有水分或其他易揮發(fā)物的試樣應先烘干除去；若樣品中含有水份，水分揮發(fā)會(huì )構成倉內真空度急劇下降，導致圖畫(huà)漂移，有白色條紋，甚至會(huì )影響燈絲壽數；

 

　　2、熱穩定性好，熱穩定性差的樣品往往在電子束的轟擊下分解，釋放氣體和其他物質(zhì)，污染光片掃描顯微鏡；

 

　　3、導電性好，導電性差的樣品會(huì )發(fā)生荷電效應，構成圖畫(huà)畸變，亮點(diǎn)亮線(xiàn)，像散等；

 

　　4、不含強磁性，強磁性的樣品觀(guān)察一般會(huì )出現嚴重的像散，無(wú)法消去，磁性粉末如果粘的不結實(shí)還可能會(huì )吸附到探頭上，損害電鏡。（當然現在很多實(shí)驗室都可以做磁性樣品的光片掃描顯微鏡，比如鑠思百檢測可以做磁性樣品的SEM）。

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　　5、試樣(外表)導電的固體，試樣可以是塊狀或粉未狀。不導電的試樣，要先進(jìn)行鍍膜處理，在材料外表構成一層導電膜。

 

　　關(guān)于塊狀導電材料，除了巨細要合適儀器樣品座尺度外，基本上不需要進(jìn)行什么制備，用導電膠把試樣粘結在樣品座上，即可放在掃描電鏡中觀(guān)察。

 

　　關(guān)于塊狀的非導電或導電性較差的材料，要先進(jìn)行鍍膜處理，在材料外表構成一層導電膜，以避免在電子束照射下發(fā)生電荷積累，影響圖畫(huà)質(zhì)量，并可避免試樣的熱損傷。

 

　　6、試樣在高真空中能保持穩定，

 

　　7、外表遭到污染的試樣，要在不破壞試樣外表結構的前提下進(jìn)行恰當清洗，然后烘干。新斷開(kāi)的斷口或斷面，一般不需要進(jìn)行處理，避免破壞斷口或斷面的結構狀態(tài)。

 

　　有些試樣的外表、斷口需要進(jìn)行恰當的腐蝕，才干暴露某些結構細節，則在腐蝕后應將外表或斷口清洗潔凈，然后烘干。

 

　　8、試樣巨細要合適光片掃描顯微鏡專(zhuān)用樣品座的尺度，不能過(guò)大，樣品座尺度各儀器不均相同，一般小的樣品座為的0~35mm，大的樣品座為30~50mm，以分別用來(lái)放置不同巨細的試樣，樣品的高度也有一定的約束，一般小于10mm左右。